Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 54.147.123.159
    [SESS_TIME] => 1711716088
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 7b0b751bd7c4fa6545fdfa18f69e0617
    [UNIQUE_KEY] => b586d05e52a18ba2e6f43dafd7880685
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Химия в интересах устойчивого развития

2007 год, номер 3

Термодинамическое моделирование процессов разделения газовых водород-хлороводородных смесей методом абсорбции хлорсиланами с целью возвращения водорода в технологический цикл при получении полупроводникового кремния

В. А. Титов1, Л. И. Чернявский2, Л. А. Борисова3, Б. А. Шагаров4, С. А. Муравицкий5, В. Н. Ниткин6, В. А. Постников7
1 Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН
2 Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН
3 Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН
4 ФГУП "ГХК" Завод полупроводникового кремния
5 ФГУП "ГХК" Завод полупроводникового кремния
6 ФГУП "ГХК" Завод полупроводникового кремния
7 ОАО "СвердНИИХимМаш"
Страницы: 359-362

Аннотация

Рассмотрена задача разделения газовых водород-хлороводородных смесей с применением хлорсиланов в качестве сорбентов. Показана возможность очистки водорода от HCl до 0.1 мол. % и возвращения его в технологический цикл на этапе водородного восстановления трихлорсилана. Очищенный от примесей хлорсиланов хлороводород также может быть применяться в качестве реагента для получения трихлорсилана из металлургического кремния.