Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2003 год, номер 5

ПРОФИЛОМЕТР ДЛЯ ОПЕРАТИВНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ ПОВЕРХНОСТИ 3D-МИКРОСТРУКТУР ПО ИХ СПЕКТРАМ

А. Тагучи, Н. Ямакита, Ю. Такая, Т. Миёши, С. Такахаши
(Осака – Токио, Япония)
Страницы: 19–29
Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

Аннотация

Рассмотрен оптический метод измерения профиля поверхности трехмерных микроструктур. Информацию о пространственном спектре профиля поверхности получают путем измерения интенсивности дифракции света, по которой посредством восстановления фазы реконструируют поверхность. Приведен пример восстановления случайной непериодической поверхности ступенчатой структуры с высотой каждой ступеньки, равной 70 нм. Представлен результат успешной реконструкции поверхности. Рассмотренный дифракционный метод целесообразно использовать для оперативных измерений.