Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2003 год, номер 5

ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДОВ ОПТИЧЕСКОЙ ТРИАНГУЛЯЦИИ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УРОВНЯ РАСПЛАВА ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ КРИСТАЛЛОВ

С. В. Михляев
(Новосибирск)
Страницы: 30–41
Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

Аннотация

Дан анализ триангуляционных оптических методов измерения уровня расплава в тигле при выращивании кристаллов. Основное внимание уделяется методу активного зондирования, основанному на использовании лазерного триангуляционного сенсора. Приведены оценки метрологических характеристик (систематической составляющей погрешности измерений и диапазона измерений) в зависимости от уровня расплава, скорости его вращения, расстояния зоны измерения от центра вращения, координаты тигля. Даны оценки допустимой скорости вращения расплава. Сформулированы требования к оптической системе, обеспечивающие максимальный диапазон измерений, а также к алгоритмам обработки оптического сигнала, формируемого при отражении зондирующего луча от нестационарной зеркальной поверхности. Обсуждаются особенности измерения уровня расплава с использованием пассивного бинокулярного сенсора.