Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2003 год, номер 5

НЕЛИНЕЙНО-ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА ЛОКАЛЬНОГО ЭКСПРЕСС-КОНТРОЛЯ КРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КАЧЕСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

П. Е. Бережная, М. Ф. Ступак
(Новосибирск)
Страницы: 128–134
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ

Аннотация

Используется эффект генерации второй гармоники зондирующего лазерного излучения для экспрессного, локального, неразрушающего контроля количественных и качественных кристаллических характеристик материалов. Представлены технические характеристики и описаны возможности автоматизированной лазерной системы выходного контроля кристаллических параметров полупроводниковых материалов. Данная система позволяет в течение нескольких минут определить ориентацию кристаллографических осей с погрешностью 0,1o в локальных приповерхностных областях (диаметром 100 мкм, глубиной 0,1–1,0 мкм), выявить наличие локальных напряжений, создать карты и микрокарты кристаллического качества поверхности и оптического качества объема тестируемых материалов (время картирования 15 мин).