Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 54.197.64.207
    [SESS_TIME] => 1711614737
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => eddc5b155874eda81a01eb1f447dfeb8
    [UNIQUE_KEY] => 26794fcf908bc70d33d42a2964f681a0
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2010 год, номер 4

КОНТАКТНЫЙ ЗОНД ДЛЯ МИКРОКООРДИНАТНОГО ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО УСТРОЙСТВА

К. Ч. Фан1,2, Ф. Ченг1, В. Т. Пан2, Р. Ли1
1 School of Instrument Science and Optoelectronic Engineering, Hefei University of Technology,
Tunxi Rd. 193, Hefei, Anhui, China 230009
2 Department of Mechanical Engineering, National Taipei University of Technology,
1, Sec. 3, Chung-Hsiao E. Rd., Taipei, Taiwan 106,
fan@ntu.edu.tw
Ключевые слова: контактный зонд, плавающая пластина, жёсткость, микрокоординатное измерительное устройство
Страницы: 54-62

Аннотация

Измерение миниатюрных компонентов с помощью микро- и нанокоординатных измерительных машин требует создания специальных механизмов для высокоточных контактных сканирующих зондов. Анализируется механизм действия разработанного контактного зонда в целях определения оптимальных размеров. Зонд состоит из волоконного щупа с шариковым наконечником, механизма с плавающей пластиной, подвешенной на проволоке, и датчиков фокусировки. При приложении контактной силы проволочки претерпевают упругую деформацию. Изучен принцип действия зондового механизма с пластиной на четырёхпроволочной подвеске. Расчёт жёсткости проведён с помощью теории упругости. Показано, что при подходящей длине щупа можно создать контактный зонд с однородной жёсткостью.