Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2011 год, номер 5

ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТРУКТУРЫ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОРИСТЫХ СЛОЕВ

К. П. Могильников, О. И. Семенова
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
oisem@thermo.isp.nsc.ru
Ключевые слова: адсорбция, тонкие пористые пленки, эллипсометрия, модуль Юнга
Страницы: 926-931

Аннотация

Предложен новый эллипсометрический способ измерения адсорбции в тонких слоях непосредственно в потоке смеси паров летучих жидкостей с инертным газом при атмосферном давлении. Способ позволяет определять основные структурные параметры нано-
и микропористых материалов: средний размер пор, поверхность пор, распределение пор по размерам и полную пористость сорбентов. Описана методика определения модуля Юнга в наноразмерных пористых слоях с использованием спектроэллипсометра.