Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2012 год, номер 4

Исследование химического состава плЕнок BCxNy методами РФЭС и Оже-спектроскопии

В. Г. Кеслер1, М. Л. Косинова2, Ю. М. Румянцев2, В. С. Суляева2
1 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
kesler@isp.nsc.ru, marina@niic.nsc.ru
Ключевые слова: рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, Оже-спектроскопия, PECVD, пленки BCxNy
Страницы: 710-717

Аннотация

Методами РФЭС и Оже-спектроскопии выполнены исследования химического состава пленок BCxNy, синтезированных методом PECVD из различных исходных газовых смесей в диапазоне температур 473-723 K. Установлены основные закономерности и особенности формирования пленок. Показано, что химический состав пленок BCxNy существенно зависит от параметров процесса синтеза, что позволяет целенаправленно управлять их физическими свойствами. Проведено обсуждение полученных закономерностей.