Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2012 год, номер 4

Состав и структура слоев карбонитрида кремния, выращенных на подложках Si(100)/(Fe, Ni, Co)

Н. И. Файнер, В. И. Косяков, Ю. М. Румянцев, Е. А. Максимовский, С. А. Прохорова, П. Н. Гевко
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
nadezhda@niic.nsc.ru
Ключевые слова: карбонитрид кремния, структура, тонкие пленки, формы кристаллов, подложки Si(100), сплав Fe-Ni-Co, ИК спектроскопия, КР спектроскопия, АСМ, РЭМ, РФА-СИ
Страницы: 821-827

Аннотация

Исследован фазовый и химический состав пленок карбонитрида кремния, полученных плазмохимическим осаждением на подложках Si(100) и таких же подложках, покрытых слоем (Fe, Ni, Co)-сплава. Показано, что металлизация подложки практически не изменяет химический состав пленки, но влияет на соотношение фаз, присутствующих в пленке, и на ее наноструктуру.