Тестирование электродов из хромоникелевого сплава в тройном ленгмюровском зонде, предназначенном для диагностики плазмы
М. Я. Наз1,2, С. Шухрулла1,2, А. Джафар2, Н. У. Рехман3,4, Я. Хан3
1Технологический университет PETRONAS, 31750 Бандар Сери Искандар, Малайзия
yasin603@yahoo.com
2Сельскохозяйственный университет, 38040 Файзалабад, Пакистан
zshukrullah@gmail.com
3Университет короля Сауда, 11451 Рияд, Саудовская Аравия
Najeed_ur_rehman@comsats.edu.pk
4Институт информационных технологий COMSATS, Исламабад, Пакистан
Ключевые слова: многоэлектродные зонды, плотность электронов, электронная температура, радиочастотная плазма, multi-tip probes, electron number density, electron temperature, radio frequency plasmas
Страницы: 23-31
Аннотация
Исследована возможность использования хромоникелевого сплава в качестве материала зондов для диагностики плазмы газовых разрядов. Разработан симметричный тройной ленгмюровский зонд с управляющей схемой, проведено его испытание в индуктивно связанной плазме, которая создавалась радиочастотным генератором (13,56 МГц), включенным в систему автоматического согласования импеданса. C помощью такого зонда получены зависимости электронной температуры, плотности электронов и силы тока ионного насыщения от мощности радиочастотного генератора и давления газа в разрядной камере. Обнаружено, что при увеличении входной радиочастотной мощности температура и плотность электронов увеличиваются, а с увеличением давления азота в камере - уменьшаются. Суммарная погрешность измерений электронной температуры составила 5-12 %, плотности электронов - 3-13 %.
DOI: 10.15372/PMTF20160203 |
