ИССЛЕДОВАНИЕ ПОГРЕШНОСТЕЙ НЕПРЯМОГО СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ ТОЛЩИН СЛОЁВ МНОГОСЛОЙНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ ПУТЁМ КОМПЬЮТЕРНОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ
З.В. Семенов1,2, В.А. Лабусов1,2,3
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
zahar@vmk.ru
2ООО «ВМК-Оптоэлектроника», 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
labusov@vmk.ru
3Новосибирский государственный технический университет, 630073, г. Новосибирск, просп. К. Маркса, 20
Ключевые слова: многослойные покрытия, тонкие плёнки, измерение толщины слоёв, компьютерное моделирование, способ непрямого контроля, multilayer coatings, thin films, layer thickness measurement, computer simulation, indirect inspection method
Страницы: 3-14
Подраздел: МОДЕЛИРОВАНИЕ В ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ
Аннотация
Представлены результаты исследования погрешности способа непрямого контроля, основанного на измерении спектров отражения в широкой спектральной области от дополнительных контрольных подложек, путём математического моделирования. Для проведения моделирования разработано программное обеспечение Deposition Control Simulator, позволяющее оценить влияние на случайную и систематическую погрешности измерения толщины наносимого слоя параметров системы контроля: шума линейки фотодетекторов, рабочего спектрального диапазона спектрометра и погрешности его градуировки по длинам волн, дрейфа интенсивности источника излучения, а также погрешности показателя преломления наносимых материалов. Для численного решения прямой и обратной задач многослойных покрытий использовалась библиотека OptiReOpt. Приведены зависимости случайной и систематической погрешностей измерения толщины наносимого слоя от его толщины при различных значениях параметров системы контроля. Даны рекомендации по применению способа непрямого контроля в целях снижения погрешности измерения толщины наносимого слоя.
DOI: 10.15372/AUT20170601 |
