Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2004 год, номер 6

ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ БЫСТРОПРОТЕКАЮЩИХ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ПРОЦЕССОВ

В. А. Швец, С. И. Чикичев, В. Ю. Прокопьев, С. В. Рыхлицкий, Е. В. Спесивцев
(Новосибирск)
Страницы: 61-69
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ

Аннотация

Представлен эллипсометрический комплекс для исследования динамики оптических свойств быстропротекающих высокотемпературных процессов. Рассмотрена проблема контроля температуры при "быстром" и "медленном" режимах нагрева. Приведены результаты исследования с помощью комплекса оптических свойств сверхтонких пленок аморфного Ge в обкладке диэлектрических слоев. Проведен анализ динамики изменения оптических свойств Ge при нагреве и показана возможность наблюдения процессов кристаллизации и плавления исследуемых пленок. Установлено, что температура плавления таких пленок понижается более чем на 200 °С по сравнению с температурой объемного материала.