Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика 

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.219.63.90
    [SESS_TIME] => 1713598071
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 7d7760e30a9cd83c756dac2f25d7bbc6
    [UNIQUE_KEY] => 0f9225f678a2c75bcde557910b8ebf46
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2017 год, номер 5

ВЕРТИКАЛЬНО ОРИЕНТИРОВАННЫЕ СЛОИ ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА: PECVD СИНТЕЗ ИЗ ТРИЭТИЛАМИНБОРАНА И СТРУКТУРНЫЕ ОСОБЕННОСТИ

И.С. Меренков1, И.А. Касаткин2, Е.А. Максимовский1, Н.И. Алфёрова1, М.Л. Косинова1
1Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
merenkov@niic.nsc.ru
2Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Ключевые слова: гексагональный нитрид бора, наностенки, PECVD, триэтиламинборан, hexagonal boron nitrides, nanowalls, PECVD, triethylaminoborane
Страницы: 1056-1063

Аннотация

Разработана низкотемпературная методика плазмохимического осаждения из газовой фазы наностенок гексагонального нитрида бора, представляющих собой массив листов, вертикально ориентированных относительно подложки Si(100). Впервые для формирования наностенок h-BN использована газовая смесь триэтиламинборана и аммиака. Размеры наностенок составляют 50-250 нм длиной и 10-25 нм толщиной. Методами рентгеновской дифракции в геометрии скользящего падения луча и просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения проведено исследование структуры борнитридных наностенок. Изучено влияние параметров синтеза - температуры осаждения и времени роста пленки - на химический и фазовый состав, морфологию поверхности, структуру пленок и их оптические свойства.

DOI: 10.15372/JSC20170523
Скачать pdf-версию статьи