Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2006 год, номер 6

Исследование датчика малых линейных перемещений на основе двух фазовых дифракционных решеток

В. А. Комоцкий, В. И. Корольков, Ю. М. Соколов
Российский университет дружбы народов,
Москва E-mail: vkomotskii@sci.pfu.edu.ru
Страницы: 105-112
Подраздел: МОДЕЛИРОВАНИЕ В ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ

Аннотация

Предложен и исследован усовершенствованный оптоэлектронный датчик малых линейных перемещений на основе дифракции лазерного пучка на двух фазовых дифракционных решетках. Показана возможность удвоения области линейности при регистрации сигналов в двух первых дифракционных порядках. На основе этого датчика сконструирован макет измерителя неровностей поверхности и проведены эксперименты по измерению профилей поверхности рельефных структур.