Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2007 год, номер 1

МЕТОД ЧАСТИЧНОГО СКАНИРОВАНИЯ КОРРЕЛОГРАММ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТЕЙ

Е. В. Сысоев
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН,
г. Новосибирск E-mail: evsml@mail.ru
Страницы: 107-115
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ

Аннотация

Представлен метод измерения микропрофиля поверхности с нанометровым разрешением, основанный на неполном сканировании коррелограмм в интерферометре Линника с частично когерентным источником света. Приведены экспериментальные результаты измерений толщины тонких пленок. Показано, что при сканировании коррелограмм в пределах 1–2 периодов может быть достигнуто разрешение по глубине лучше 1 нм.
Скачать pdf-версию статьи



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять