Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2009 год, номер 1

ОСОБЕННОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ ТЕХНОЛОГИИ ЗАПИСИ СКРЫТЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ В ПЛЕНКАХ ХРОМА ПРИ СИНТЕЗЕ ПРЕЦИЗИОНННЫХ УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР

А. В. Кирьянов, В. Г. Никитин
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН
alexey@tdisie.nsc.ru, vladikot@mail.ru
Ключевые слова: лазерный генератор изображений, технология записи скрытых изображений, прецизионные углоизмерительные структуры, фотоэлектрические угловые преобразователи
Страницы: 109-117

Аннотация

Проанализированы специфические источники погрешности формирования топологии углоизмерительных структур с помощью метода растрового сканирования на основе термохимической технологии записи скрытых изображений в пленках хрома. Установлена связь данного вида погрешностей с особенностями динамики нагрева пленок хрома лазерным излучением. Предложен и реализован алгоритм коррекции процесса записи структур, обеспечивающий точность синтеза углоизмерительных структур на уровне единиц угловых секунд.
Скачать pdf-версию статьи



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять