Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2010 год, номер 4

МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ МИКРО- И НАНОИЗМЕРЕНИЙ В ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКОМ ИНСТИТУТЕ ГЕРМАНИИ

Г. Босе, Л. Кёндерс, Ф. Гертиг, Э. Бур, Г. Вилкенинг
Ключевые слова: размерная (линейная и угловая) метрология, микрометрология, нанометрология, моделирование сигналов
Страницы: 19-25

Аннотация

Приведён обзор методов и приборов, разработанных и применяемых в Физико-техническом институте Германии для высокоточных размерных (линейных и угловых) измерений. Обсуждаются задачи, стоящие перед разработчиками в этой важной области метрологии.
Скачать pdf-версию статьи



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять