Главная – Журналы – Автометрия 2010 номер 4

Измерение миниатюрных компонентов с помощью микро- и нанокоординатных измерительных машин требует создания специальных механизмов для высокоточных контактных сканирующих зондов. Анализируется механизм действия разработанного контактного зонда в целях определения оптимальных размеров. Зонд состоит из волоконного щупа с шариковым наконечником, механизма с плавающей пластиной, подвешенной на проволоке, и датчиков фокусировки. При приложении контактной силы проволочки претерпевают упругую деформацию. Изучен принцип действия зондового механизма с пластиной на четырёхпроволочной подвеске. Расчёт жёсткости проведён с помощью теории упругости. Показано, что при подходящей длине щупа можно создать контактный зонд с однородной жёсткостью.