Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2010 год, номер 4

РАЗРАБОТКА МИНИАТЮРНОГО НАНОИНДЕНТОРА С РАЗРЕШЕНИЕМ 1 нН

С. Гао, ДЖ. Ли, К. Герман
Ключевые слова: микро- и нанотестирование материалов, наноиндентация, микроэлектромеханическая система (MEMS), электростатический гребенчатый привод, измерение наносилы, датчик наносилы
Страницы: 63-69

Аннотация

Исследования твёрдости материалов на основе наноинденторного метода (метода вдавливания) требуют разработки более точных и чувствительных приборов. Предложен миниатюрный наноиндентор на основе микроэлектромеханических систем (MEMS-технологий), который имеет высокую разрешающую способность (до 1 нН) и большой динамический диапазон (до 1 мН). Детально представлена разработка MEMS-системы, включая численное моделирование механической системы, и её характеристики. Результаты предварительных экспериментов подтверждают возможность реализации такого миниатюрного индентора.
Скачать pdf-версию статьи



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять