Главная – Журналы – Автометрия 2010 номер 6

Проведён анализ режимов работы микрогенератора электрической энергии на основе многослойной структуры металл-диэлектрик со встроенным зарядом-микрозазор-подвижный электрод, принцип действия которого основан на колебаниях электрода в поле сил объёмного заряда диэлектрика. Установлена специфика электромеханического преобразования энергии при колебаниях поверхности электрода в субмикронных зазорах. Показано, что такие микрогенераторы в режиме низкочастотных колебаний (10-100 Гц) способны без использования источников напряжения развивать мощность, достаточную для энергообеспечения современных микросхем (до 1-10 мВт/см²).