Главная – Журналы – Физика горения и взрыва 1991 номер 6

Исследованы механизм и режимы горения смеси Si—С—(—C₂F₄—)_n. Приведены экспериментальные кривые зависимости параметров волны горения смеси от соотношения исходных компонентов, давления инертной среды, температуры источника зажигания, диаметра образцов. Показано, что в зависимости от перечисленных параметров процесс может протекать в двух стационарных режимах: низкотемпературном, когда идет образование только фторидов кремния, и высокотемпературном, когда последовательно образуются фториды и карбиды кремния.