Главная – Журналы – Физика горения и взрыва 1994 номер 4

Исследована возможность реализации режима самораспространяющегося горения газовой смеси SiH₄—NH₃—О₂ и SiH₄—2 при содержании кислорода 0–2 %. Расчет равновесного состава указывает на возможность образования целевых продуктов — Si, Si₃N₄. Экспериментально установлено, что распространение фронта химической реакции в самоподдерживающемся режиме с образованием указанных выше продуктов протекает только при наличии кислорода. Показано, что химическая индукция, приводящая к расходованию до 60 % начального моносилана, имеет цепную природу.