Исследование химического состава плЕнок BCxNy методами РФЭС и Оже-спектроскопии
В. Г. Кеслер1, М. Л. Косинова2, Ю. М. Румянцев2, В. С. Суляева2 1 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН 2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН kesler@isp.nsc.ru, marina@niic.nsc.ru
Ключевые слова: рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, Оже-спектроскопия, PECVD, пленки BCxNy
Страницы: 710-717
Аннотация
Методами РФЭС и Оже-спектроскопии выполнены исследования химического состава пленок BCxNy, синтезированных методом PECVD из различных исходных газовых смесей в диапазоне температур 473-723 K. Установлены основные закономерности и особенности формирования пленок. Показано, что химический состав пленок BCxNy существенно зависит от параметров процесса синтеза, что позволяет целенаправленно управлять их физическими свойствами. Проведено обсуждение полученных закономерностей.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее