СТРУКТУРНЫЕ ОСОБЕННОСТИ И ПРОВОДИМОСТЬ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ. МОДЕЛИРОВАНИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТ
П. Л. Новиков1, О. И. Семенова2, В. Г. Щукин1, Р. Г. Шарафутдинов1 1 Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН 2 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН novikov@isp.nsc.ru
Ключевые слова: тонкопленочные солнечные элементы, проводимость тонких пленок, метод Монте-Карло, перколяционный кластер
Страницы: 809-813
Аннотация
Исследованы структурные и фотоэлектрические свойства низкотемпературных кремниевых микрокристаллических слоев, полученных новым методом электронно-пучковой плазмы, образующейся при воздействии электронного пучка на сверхзвуковой поток исходных газовых смесей. На основании экспериментов и выполненных методом Монте-Карло расчетов установлено, что зависимость проводимости слоев μc-Si:H от степени кристалличности материала описывается в рамках теории перколяции.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее