НОВЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ РЕЗОНАТОРЫ ДЛЯ ГИГАГЕРЦОВЫХ ЧАСТОТ
Э.Г. Косцов1, С.И. Фадеев2
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
kostsov@iae.nsk.su
2Институт математики им. С. Л. Соболева СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 4
Ключевые слова: СВЧ МЭМС, микрорезонатор, генератор частоты, ВЧ-фильтр, собственные колебания
Страницы: 115-122
Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Рассматривается возможность создания микроэлектромеханических резонаторов микрометровых размеров с гигагерцовыми частотами. В конструкцию резонатора введена тонкая плёнка диэлектрика (сегнетоэлектрика) с высокими диэлектрической проницаемостью и электрической прочностью. Проведено описание особенностей функционирования устройства и его конструкции с использованием математической модели, позволившей найти точные соотношения между параметрами, характеризующими собственные колебания подвижного элемента, а также напряжение запуска.
|
