Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2014 год, номер 1

АДАПТИВНАЯ ПОРОГОВАЯ ОБРАБОТКА ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ ИНТЕРФЕРОГРАММ

Е.В. Сысоев, А.К. Поташников
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, 630058, г. Новосибирск, ул. Русская, 41
evsml@mail.ru
Ключевые слова: интерференция частично когерентного света, сканирующий интерферометр, адаптивный порог, интерференционный контроль рельефа поверхности, дифференциальная интерферограмма
Страницы: 20-25
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

Аннотация

Предложен способ выбора адаптивного порога при обнаружении сигнала интерференции в оптическом профилометре, основанный на оценке оптического квантового шума в интерферограммах каждой измеряемой точки. Показано, что при использовании дифференциальных интерферограмм такой подход позволяет расширить динамический диапазон обнаружения интерференции и автоматизировать процесс измерения рельефа поверхностей, имеющих большой разброс коэффициента отражения света в зоне измерения. Приведены теоретические выкладки, результаты расчётов и экспериментов.
Скачать pdf-версию статьи



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять