О МОЗАИЧНЫХ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКИХ ПРИЁМНИКАХ ИНФРАКРАСНОГО И ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНОВ
М.А. Демьяненко1, А.И. Козлов1, А.Р. Новоселов2, В.Н. Овсюк1
1Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 13
demyanenko@isp.nsc.ru
2Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники, 630090, г. Новосибирск, ул. Николаева, 8
novoselov@oesd.ru
Ключевые слова: мозаичный фотоприёмник, неохлаждаемый микроболометр, кремниевый мультиплексор, схема считывания фотосигналов, инфракрасный и терагерцовый диапазоны, mosaic focal plane array, uncooled microbolometer, readout integrated circuit, infrared and terahertz ranges
Страницы: 115-123
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ В ОПТИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ
Аннотация
Синтезирована конструкция матричных мозаичных фотоприёмников (МФП) и предложен ряд схем блоков адресации, уменьшающих «слепую зону». Разработана прецизионная технология изготовления мозаичных фотоприёмников с суммарным размером слепой зоны не более 30 мкм. Рассмотрены некоторые системные вопросы применения мозаичных фотоприёмников. Полученные результаты при создании неохлаждаемых микроболометрических МФП форматом 3072 x 576 на основе субмодулей 384 x 288 с шагом фоточувствительных элементов 17-51 мкм в ИК-диапазоне обеспечивают эффективность преобразования изображений 99 %, а при шаге фоточувствительных элементов 100 мкм в терагерцовом диапазоне - 100 %.
DOI: 10.15372/AUT20160214
|
