Задача конвективной диффузии из газовой фазы к вращающемуся диску
Е.Л. Панкратов, П.Б. Болдыревский
"Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Нижний Новгород, 603950, Россия elp2004@mail.ru"
Ключевые слова: эпитаксия из газовой фазы, конвективная диффузия, диск-подложкодержатель, epitaxy from gas phase, convective diffusion, substrate holder disk
Страницы: 74-83
Аннотация
Предложена методика аналитического расчета скорости потока газовой смеси и концентрации ростового компонента в процессе эпитаксии из газовой фазы, происходящей в реакционной камере с вращающимся диском-подложкодержателем. Проведен анализ зависимости концентрации ростового компонента от ряда технологических параметров процесса эпитаксии.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее