ТРЁХСПЕКТРАЛЬНОЕ МНОГОЭЛЕМЕНТНОЕ ФОТОПРИЁМНОЕ УСТРОЙСТВО
И.Г. Неизвестный, В.Н. Шумский
"Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 13
neizv@isp.nsc.ru"
Ключевые слова: молекулярно-лучевая эпитаксия, гетеропереход, p-n-переход, чувствительный элемент, линейка фотоприёмников, многоэлементное фотоприёмное устройство, molecular beam epitaxy, heterojunction, p-n junction, detector, photodetector line, multielement photodetector
Страницы: 37-43
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Описаны конструкция и характеристики трёхспектрального многоэлементного фотоприёмного устройства с диапазоном чувствительности 0,6-12,0 мкм, состоящего из трёх линеек фотоприёмников с чувствительностью в областях 0,6-0,9, 3-5 и 8-12 мкм. Приведены методы изготовления линеек, фотоприёмного устройства в целом и его фотоэлектрические характеристики.
DOI: 10.15372/AUT20160506
|
