РАСЧЁТ ПОЛОЖЕНИЯ ГРАНИЦЫ ОБЪЕКТА ПРИ ЕГО ПРОЕЦИРОВАНИИ В ПРОСТРАНСТВЕННО-НЕИНВАРИАНТНОЙ КОГЕРЕНТНО-ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЕ
"Ю.В. Чугуй1,2,3"
"1Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, 630058, г. Новосибирск, ул. Русская, 41
chugui@tdisie.nsc.ru
2Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2
3Новосибирский государственный технический университет, 630073, г. Новосибирск, просп. К. Маркса, 20"
Ключевые слова: дифракция света, телецентрические проекционные системы, фурье-оптика, размерный контроль, light diffraction, telecentric projection systems, Fourier optics, dimensional inspection
Страницы: 50-60
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Изучены особенности формирования изображения полуплоскости в когерентно-оптической пространственно-неинвариантной (безаберрационной) системе типа 2F-2F телецентрического типа с ограниченной апертурой проекционного объектива (в условиях отсутствия пространственно-частотного фильтра). В аналитическом виде на основе аппроксимации френелевских функций элементарными найдена зависимость поведения интенсивности света в точке, соответствующей границе полуплоскости в её изображении, от положения объекта. Показано, что в случае приближения полуплоскости к границе поля зрения системы, определяемой диаметром апертуры объектива, имеет место значительное отклонение интенсивности света от случая осевого расположения полуплоскости, что может приводить к заметным погрешностям измерения при контроле геометрических параметров объектов проекционным методом в проходящем свете.
DOI: 10.15372/AUT20160607
|
