СОВМЕЩЕНИЕ ЗАПИСЫВАЮЩЕГО ПУЧКА С ОСЬЮ ВРАЩЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ СТРУКТУРЫ ПРИ СИНТЕЗЕ ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ В ПОЛЯРНОЙ СИСТЕМЕ КООРДИНАТ
Р.В. Шиманский, А.Г. Полещук, В.П. Корольков, В.В. Черкашин
"Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
shimansky@iae.nsk.su"
Ключевые слова: дифракционные оптические элементы, лазерная запись, нанопозиционирование, определение оси вращения заготовки, diffractive optical elements, laser writing, nanopositioning, determination of the optical blank rotation axis
Страницы: 30-38
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Разработан метод точного совмещения начала системы полярных координат, в которой задаётся положение лазерного пучка при записи дифракционных оптических элементов, с осью вращения оптической заготовки. Этот метод использован для повышения точности работы круговой лазерной записывающей системы при записи крупногабаритных дифракционных оптических элементов в полярной системе координат. Представлены результаты исследования новых алгоритмов определения и коррекции ошибок позиционирования круговой лазерной записывающей системы в процессе записи.
DOI: 10.15372/AUT20170203
|
