Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2017 год, номер 3

ДИНАМИЧЕСКАЯ КОРРЕКЦИЯ КООРДИНАТЫ ЛАЗЕРНОГО ПУЧКА ПРИ ЗАПИСИ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ДИФРАКЦИОННЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ КОНТРОЛЯ АСФЕРИЧЕСКИХ ЗЕРКАЛ

Р.В. Шиманский, А.Г. Полещук, В.П. Корольков, В.В. Черкашин
"Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
shimansky@iae.nsk.su"
Ключевые слова: дифракционные оптические элементы, лазерная запись, нанопозиционирование, diffractive optical elements, laser writing, nanopositioning/
Страницы: 64-73
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

Аннотация

Создан метод увеличения точности работы круговой лазерной записывающей системы при записи крупногабаритных дифракционных оптических элементов в полярной системе координат и представлены результаты его использования. Предложен и исследован алгоритм коррекции ошибок позиционирования в процессе записи на круговой лазерной записывающей системе, разработанной в Институте автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН. Показаны изготовленные с использованием разработанного метода высокоточные дифракционные оптические элементы и результаты применения этих элементов для контроля асферического зеркала диаметром 6,5 м нового космического телескопа «Джеймс Уэбб».

DOI: 10.15372/AUT20170309
Скачать pdf-версию статьи



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять