Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2017 год, номер 3

ЁМКОСТНЫЕ МЭМС-АКСЕЛЕРОМЕТРЫ СВЕРХВЫСОКИХ УСКОРЕНИЙ

И.Л. Багинский, Э.Г. Косцов
"Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
baginsky@iae.nsk.su"
Ключевые слова: МЭМС-акселерометр, электростатика, электрет, сверхвысокие ускорения, MEMS accelerometer, electrostatics, electret, high-g accelerations
Страницы: 107-116
Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ

Аннотация

Установлена возможность создания ёмкостного акселерометра для измерения сверхвысоких ускорений (до 106g и более). Показано, что введение в межэлектродный зазор тонкой плёнки электрета с высоким потенциалом поверхности позволяет значительно расширить частотный и амплитудный диапазоны регистрации ускорений при уменьшении размера устройства по сравнению с известными МЭМС-акселерометрами сверхвысоких ускорений. Создана математическая модель электретного акселерометра для сверхвысоких ускорений и проведён анализ основных закономерностей его функционирования.

DOI: 10.15372/AUT20170314
Скачать pdf-версию статьи



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять