ВЕРТИКАЛЬНО ОРИЕНТИРОВАННЫЕ СЛОИ ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА: PECVD СИНТЕЗ ИЗ ТРИЭТИЛАМИНБОРАНА И СТРУКТУРНЫЕ ОСОБЕННОСТИ
"И.С. Меренков1, И.А. Касаткин2, Е.А. Максимовский1, Н.И. Алфёрова1, М.Л. Косинова1"
"1Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
merenkov@niic.nsc.ru
2Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия"
Ключевые слова: гексагональный нитрид бора, наностенки, PECVD, триэтиламинборан, hexagonal boron nitrides, nanowalls, PECVD, triethylaminoborane
Страницы: 1056-1063
Аннотация
Разработана низкотемпературная методика плазмохимического осаждения из газовой фазы наностенок гексагонального нитрида бора, представляющих собой массив листов, вертикально ориентированных относительно подложки Si(100). Впервые для формирования наностенок h-BN использована газовая смесь триэтиламинборана и аммиака. Размеры наностенок составляют 50-250 нм длиной и 10-25 нм толщиной. Методами рентгеновской дифракции в геометрии скользящего падения луча и просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения проведено исследование структуры борнитридных наностенок. Изучено влияние параметров синтеза - температуры осаждения и времени роста пленки - на химический и фазовый состав, морфологию поверхности, структуру пленок и их оптические свойства.
DOI: 10.15372/JSC20170523
|
