ТРЁХОСЕВОЙ МИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ НА ОСНОВЕ ОПТИЧЕСКОГО ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА
"В.И. Бусурин1, А.Т. Фам1, М.А. Жеглов2, В.М. Медведев1,2"
"1Московский авиационный институт, 125993, Москва, А-80, ГСП-3, Волоколамское шоссе, 4
vbusurin@mai.ru
2АО «Государственный научно-исследовательский институт приборостроения», 129226, Москва, просп. Мира, 125
mazheglov@mail.ru"
Ключевые слова: трёхосевой МОЭМ-преобразователь, туннельный эффект, угловая скорость, минимальная детектируемая величина, шумы, динамический диапазон, three-axial MOEM transducer, tunnel effect, angular rate, minimum detectable value, noise, dynamic range
Страницы: 33-41
Подраздел: МОДЕЛИРОВАНИЕ В ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ
Аннотация
Разработана модель трёхосевого микрооптоэлектромеханического (МОЭМ) преобразователя угловых скоростей, построенная на основе оптического туннельного эффекта. Определена функция преобразования и оценено влияние дестабилизирующих факторов на характеристики трёхосевого МОЭМ-преобразователя угловых скоростей. Рассчитан его динамический диапазон на основе оптического туннельного эффекта.
DOI: 10.15372/AUT20170604
|
