Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2018 год, номер 4

ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОДВИЖНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ MEMS

Э.Г. Косцов, А.И. Скурлатов, А.М. Щербаченко
"Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
Kostsov@iae.nsk.su"
Ключевые слова: оптико-электронная система, гетеродинный лазерный интерферометр, акустооптический модулятор лазерного излучения, подвижный элемент MEMS, optoelectronic system, heterodyne laser interferometer, acousto-optical modulator of laser radiation, moving MEMS element
Страницы: 92-100
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

Аннотация

Рассматривается экспериментальная конструкция оптико-электронной системы для бесконтактного измерения микро- и наноперемещений подвижных элементов MEMS. Основу устройства составляет гетеродинный интерферометр со стабилизированным по частоте He-Ne-лазером и акустооптическим модулятором лазерного излучения. При воздействии на структуру MEMS импульсов напряжения с амплитудой до 1 В экспериментально достигнуто разрешение по перемещению подвижного элемента менее 1 нм, при этом амплитуда перемещения линейно зависит от управляющего напряжения с чувствительностью 100-200 нм/В. Установлено, что на кривой местоположение элемента - управляющее напряжение эффект гистерезиса не проявляется.

DOI: 10.15372/AUT20180412
Скачать pdf-версию статьи



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять