Синтез алмазов из микроволновой плазмы с использованием сверхзвуковых потоков газа
"А.К. Ребров1, М.В. Исупов1, А.Ю. Литвинцев1, В.Ф. Буров2"
"1Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
rebrov@itp.nsc.ru
2ООО "ЗиО-КОТЭС", Новосибирск, 630049, Россия
burov.46@mail.ru"
Ключевые слова: синтез алмазов, микроволновая плазма, резонансная камера, сопло, смесь водорода и метана, высокоскоростной поток, вакуум, diamond synthesis, microwave plasma, resonance chamber, nozzle, hydrogen--methane mixture, high-velocity flow, vacuum
Страницы: 5-12
Аннотация
Впервые реализован новый способ осаждения алмазных пленок с использованием сверхзвуковых потоков газов, активированных сверхвысокочастотным разрядом. Принцип работы предложенного газоразрядного устройства аналогичен принципу работы микроволнового электротермического ракетного движителя. В качестве плазмообразующего газа используется смесь углеводородов и водорода. Показано, что предлагаемый способ позволяет использовать плазмообразующий газ при давлениях, существенно превышающих верхний предел рабочих давлений современных газоразрядных устройств осаждения пленок в плазме сверхвысокочастотного разряда (приблизительно 40000 Па).
DOI: 10.15372/PMTF20180501
|
