ИССЛЕДОВАНИЕ СПЕКТРАЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОГЛОЩЕНИЯ ИК-ИЗЛУЧЕНИЯ В ПЛЁНКАХ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ ДЛЯ ДЕТЕКТОРОВ ТЕПЛОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
А.Г. Паулиш1,2, А.К. Дмитриев2, А.В. Гельфанд1, С.М. Пыргаева3
1Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники, г. Новосибирск, Россия
paulish63@ngs.ru
2Новосибирский государственный технический университет, г. Новосибирск, Россия
dmitriev@corp.nstu.ru
3Алтайский государственный технический университет им. И. И. Ползунова, г. Барнаул, Россия
genphys@mail.ru
Ключевые слова: инфракрасная техника, приёмники теплового излучения, матрица ячеек Голея, диоксид кремния, ИК-спектроскопия, infrared technology, thermal radiation detectors, Golay cell array, silicon dioxide, IR spectroscopy
Страницы: 101-106
Аннотация
Проведены исследования спектральных характеристик поглощения плёнок диоксида кремния в ИК-диапазоне (λ = 8-14 мкм) в целях определения оптимальной толщины поглотителя в матричной структуре микроячеек Голея для создания высокочувствительных детекторов ИК-излучения. Показано, что спектр поглощения плёнок SiO2, нанесённых методом электронно-лучевого испарения, в диапазоне толщин до 2 мкм имеет структуру, которая отличается от известных спектров поглощения объёмного диоксида кремния, что, по-видимому, связано с перестройками в стехиометрии диоксида кремния на начальных стадиях формирования плёнки. Экспериментально подтверждено, что интегральное поглощение в нанесённых плёнках в заданном спектральном диапазоне близко к линейной зависимости от толщины и на порядок меньше величины, полученной расчётом на основе опубликованных данных для объёмного SiO2.
DOI: 10.15372/AUT20190514
|
