Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2021 год, номер 1

СКРАЙБИРОВАНИЕ КРЕМНИЕВЫХ ПРИБОРНЫХ ПЛАСТИН ЛАЗЕРНЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ В ВОДНОЙ СРЕДЕ

А.Р. Новоселов
"Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск, Россия
novoselov@oesd.ru"
Ключевые слова: СБИС, лазерное скрайбирование, зона повреждения
Страницы: 112-121

Аннотация

Исследован результат воздействия скрайбирования лазерным излучением в водной среде на кремниевые сверхбольшие интегральные схемы, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения. Установлены ширина повреждения материала вокруг скрайбовой канавки, которая составила около 47 мкм, а также возникновение гидроудара при вскипании воды во время скрайбирования, оказывающего давление на материал не менее 1,5 x 10-6 кг/мкм2.

DOI: 10.15372/AUT20210112
Скачать pdf-версию статьи



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять