Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2022 год, номер 2

"РАСШИРЕНИЕ ДОПУСТИМЫХ ПРЕДЕЛОВ КРИВИЗНЫ ОСЕСИММЕТРИЧНЫХ 3D-ПОВЕРХНОСТЕЙ ПРИ ЗАПИСИ МИКРОРЕЛЬЕФА"

В.П. Кирьянов
"Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск, Россия
kiryanov@iae.nsk.su"
Ключевые слова: автоматическая фокусировка, оптические 3D-поверхности, нож Фуко, датчик расфокусировки
Страницы: 19-23

Аннотация

Анализируется функционирование системы автоматической фокусировки излучения технологических лазеров на оптические 3 D -поверхности, реализованной в оптической головке записи лазерного генератора изображений модели ЛГИ-2. Обсуждаются причины серьёзных ограничений по допустимому наклону поверхности записи. Предлагается альтернативное решение, позволяющее существенно увеличить допустимый угол наклона осесимметричных поверхностей, на которых должна проводиться запись топологии микроструктур.

DOI: 10.15372/AUT20220203
Скачать pdf-версию статьи



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять