Главная – Журналы – Автометрия 2022 номер 5

В работе путём численного моделирования исследовано влияние изменения теплофизических свойств плёнки молибдена при промежуточном окислении в процессе лазерной абляции на размерный эффект формирования трека. В соответствии с полученными данными произведено уточнение гипотезы, объясняющей сокращение ширины трека в зоне абляции плёнки по сравнению с эффективным диаметром лазерного пучка. Показано, что специфическое изменение коэффициента теплопроводности вещества в момент окисления оказывает значительное влияние на распределение температурного поля, выражаемое в сужении характеристики распределения температуры по поверхности плёнки, что ранее не рассматривалось. Установлено, что изменения плотности, удельной теплоёмкости и теплового эффекта химической реакции окисления молибдена в процессе окисления плёнки не оказывают существенного влияния на распределение температуры в зоне воздействия лазерного пучка.