Главная – Журналы – Автометрия 2023 номер 3

Для создания микроэлектромеханических систем (МЭМС) большой удельной механической мощности используется система «подвижный электрод - нанометровый зазор - тонкая кристаллическая плёнка материала с большим значением диэлектрической проницаемости - неподвижный электрод». Показано, что в этой системе возникают двумерные электромеханические волны. Возникновение таких возбуждений ограничивает предельную удельную мощность электромеханических преобразователей-актуаторов, МЭМС-двигателей и генераторов. Однако это явление открывает широкие возможности применения подобных структур.