СТРУКТУРА И ТЕПЛОПРОВОДНОСТЬ ТОНКИХ ПЛЁНОК СПЛАВА Si1-xGex, СФОРМИРОВАННЫХ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ГЕРМАНИЯ В ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ
Д.Л. Горошко1, И.М. Гаврилин2, А.А. Дронов2, О.А. Горошко1, Л.С. Волкова3
1Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения РАН, Владивосток, Россия
goroshko@iacp.dvo.ru
2Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Москва, Россия
gavrilin.ilya@gmail.com
3Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва, Россия
lidiya.volkova.96@mail.ru
Ключевые слова: сплав SiGe, теплопроводность, электрохимическое осаждение германия, пористый кремний
Страницы: 80-88
Аннотация
Сплошные и пористые плёнки сплавов Si1-xGex с содержанием германия около 40 % и толщиной 3-4 мкм, сформированные на монокристаллическом кремнии методом электрохимического осаждения германия в матрицу пористого кремния с последующим быстрым термическим отжигом при температуре 950 °C, исследованы методами спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС), оптической спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии. На основе спектров, снятых в стоксовой и антистоксовой областях частот с использованием статистики Больцмана и закона теплопроводности Фурье, определены коэффициенты теплопроводности плёнок, которые составляют 7-9 и 3-6 Вт / (м ⋅ К) для сплошной и пористой плёнок соответственно. Низкая теплопроводность пористой плёнки объясняется дополнительным фононным рассеянием на развитой поверхности пор. Перспективность применения таких плёнок в термоэлектрических преобразователях обеспечивается простотой и масштабируемостью способа изготовления сплава, а также его низкой теплопроводностью.
DOI: 10.15372/AUT20230609
EDN: SXCDES
|
