Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2024 год, номер 3

"УРАВНЕНИЕ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ ДЛЯ СТРУКТУРЫ ПОДЛОЖКА - ОДНООСНАЯ АНИЗОТРОПНАЯ ПЛЁНКА С ОПТИЧЕСКОЙ ОСЬЮ В ПЛОСКОСТИ ПАДЕНИЯ"

"В.А. Швец, И.А. Азаров, Е.В. Спесивцев"
"Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
basil5353@mail.ru"
Ключевые слова: оптическая анизотропия, эллипсометрия, одноосный кристалл
Страницы: 32-40

Аннотация

Представлено решение прямой задачи эллипсометрии для однослойной модели изотропная подложка - анизотропная плёнка в случае ориентации оптической оси плёнки в плоскости падения. Получены аналитические выражения для расчёта эллипсометрических параметров такой структуры. Предложен простой численный алгоритм определения обыкновенного ( no ) и необыкновенного ( ne ) показателей преломления объёмного кристалла при различных условиях измерения. Рассматривается обратная задача определения no , ne и толщины плёнки d при изменении азимута оптической оси. Обсуждается проблема корреляции искомых параметров для такой задачи.

DOI: 10.15372/AUT20240303
EDN: GQNCKW
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять