Главная – Журналы – Теплофизика и аэромеханика 36 номер 6

В работе исследуется синтез алмазных покрытий на кремниевых подложках с применением газоструй ного метода, в котором используется высокоскоростная струя для транспортировки активированной в СВЧ разряде смеси газов. Синтез покрытий осуществляется из смеси водорода, метана и аргона. Показана возмож ность сохранения целостности кремниевой подложки в условиях газоструйного осаждения при высокой тем пературе. Скорость синтеза алмаза на кремниевой подложке превысила достигнутую ранее в газоструйных экспериментах с активацией в СВЧ-плазме без добавлений аргона, а также при осаждении из смеси водород метан-аргон при более низких температурах подложки.