ВЛИЯНИЕ ОРИЕНТАЦИИ ПОДЛОЖКИ И РАЗМЕРА КАПЛИ КАТАЛИЗАТОРА НА НАПРАВЛЕНИЕ РОСТА КРЕМНИЕВЫХ НАНОПРОВОЛОК
С.В. Манцурова1,2, Н.Л. Шварц1,2 1Институт физики полупроводников СО РАН им. А. В. Ржанова, Новосибирск, Россия snezhana@isp.nsc.ru 2Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия nshwartz@isp.nsc.ru
Ключевые слова: кремний, нанопроволоки, моделирование Монте-Карло
Страницы: 76-83
Аннотация
Работа посвящена моделированию роста кремниевых нанопроволок методом Монте-Карло по механизму пар - жидкость - кристалл с использованием золотых капель в качестве катализатора. Рассмотрен рост наклонных нанопроволок на поверхностях Si с ориентациями (111), (011) и (100). Выяснено, что размер золотых капель влияет на ориентацию и морфологию кремниевых нанопроволок. Продемонстрирован рост наклонных нанопроволок с применением капель малого размера в направлениях ⟨011⟩ и ⟨211⟩. С увеличением размера капель наиболее вероятным направлением роста нанопроволок становится ⟨111⟩. Представлены диаграммы, демонстрирующие вероятность направления роста нанопроволок на поверхностях Si разной ориентации от размера капли Au. Проанализирована кинетика нестабильного роста кремниевых нанопроволок, катализируемых каплями малого размера.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее