Определение геометрических параметров конических волокон с торцевой линзой
Б. Спектор, А. Норматов
Technion, Israel Institute of Technology, EE department, Haifa, Israel E-mail: boriss@ee.technion.ac.il E-mail: alexn@tx.technion.ac.il
Страницы: 64-72 Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Определение параметров микрообъектов различной природы, особенно их геометрических характеристик, является важным моментом исследований в современном мире высоких технологий. Обсуждаются результаты использования новой методики анализа геометрических параметров конических волокон с торцевой линзой, широко применяемых в устройствах оптической передачи информации и сканирующей микроскопии ближнего поля. Предложенная методика измерений апробирована на реальных образцах различных производителей и ориентирована на ее последующее использование в автоматизированных производственных линиях.
|