Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 54.147.102.111
    [SESS_TIME] => 1711694195
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 9397461d4a0c2d35a9ff9bd238455de9
    [UNIQUE_KEY] => ee1bd7f77864d5f42734f9e0fb49ef5b
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2007 год, номер 5

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ КРЕМНИЯ, С ПОМОЩЬЮ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ

В. А. Швец, В. Ю. Прокопьев, С. И. Чикичев, Н. А. Аульченко
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
E-mail:shvets@isp.nsc.ru
Страницы: 71-80

Аннотация

Путем численного моделирования рассмотрена задача определения дозы облучения и энергии ионов при исследовании диэлектрических слоев SiO2, имплантированных ионами Si+, методом спектральной эллипсометрии. Для решения поставленной задачи использовались одно-, двух- и трехслойные модели. Установлено, что для определения указанных характеристик имплантированных слоев, а также толщины диэлектрического слоя достаточно использовать двух- или трехслойное приближение. Дальнейшее усложнение модели не приводит к повышению точности, но усложняет процедуру поиска минимума целевой функции.