Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.142.243.100
    [SESS_TIME] => 1715473784
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 0bdc881564b02a77e60c8a85157d1526
    [UNIQUE_KEY] => bd0acd53206ff10f6635dbe5af4cafa1
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Прикладная механика и техническая физика

2023 год, номер 3

Структурирование поверхности кремния плазмой тлеющего разряда

А.В. Петрова1,2, А.Л. Богословцева1,2, С.В. Старинский1,2, А.И. Сафонов1
1Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
koltekreit@gmail.com
2Новосибирский национальный исследовательский государственный университет
alenka_bogos@mail.ru
Ключевые слова: тлеющий разряд, обработка кремния, окисление, смачиваемость, гидрофильность
Страницы: 131-136

Аннотация

Показана возможность изменения морфологии поверхности кремния при определенных параметрах тлеющего разряда. Установлено, что при обработке плазмой тлеющего разряда основным процессом, влияющим на морфологию поверхности, является окисление. В результате обработки в исследуемом диапазоне параметров наблюдаются различные стадии процесса окисления поверхности: образование равномерного оксидного слоя, формирование нано- и микроструктур оксида кремния. Показано, что указанные процессы приводят к модификации поверхности, которая приобретает устойчивые гидрофильные и супергидрофильные свойства.

DOI: 10.15372/PMTF202215179
EDN: NEOMQL
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину