Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.147.28.202
    [SESS_TIME] => 1716085122
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => c0998eb9e796ed0299ecd6f2d39c63cc
    [SALE_USER_ID] => 0
    [SESS_OPERATIONS] => Array
        (
        )

    [UNIQUE_KEY] => bd5e8a2e5c410956066a84d9265b60be
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

    [VOTE] => Array
        (
            [VOTES] => Array
                (
                )

        )

)

Поиск по журналу

Прикладная механика и техническая физика

2023 год, номер 5

Ферромагнитно-усиленный индукционный разряд низкого давления для ионно-плазменной обработки

М.В. Исупов, В.А. Пинаев
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
isupovmikhail@yandex.ru
Ключевые слова: индуктивно связанная плазма, электроотрицательная плазма, нестационарный разряд
Страницы: 27-38

Аннотация

Исследуется генерация низкочастотного индукционного разряда низкого давления с ферромагнитным усилением магнитной связи между индуктором и плазмой. Рассмотрены основные особенности и преимущества данного способа генерации плазмы при его использовании в технологиях ионно-плазменной обработки поверхности материалов. Представлены новые экспериментальные данные об электрофизических и динамических характеристиках ферромагнитно-усиленного индукционного разряда низкого давления в аргоне с добавлением кислорода. Показана возможность управления радиальным распределением параметров плазмы в газоразрядной камере c помощью распределенной генерации разряда. Выявлены существенные колебания температуры электронов в течение периода колебаний электрического поля разряда, рассмотрен механизм их возникновения

DOI: 10.15372/PMTF202315321
EDN: FYCRYZ
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину